硅烷燃烧塔

我公司生产的TXRS型不锈钢硅烷燃烧洗涤塔是处理硅烷、氨气及其他可溶性气体的废气净化设备，主要用于处理太阳能电池生产线行业以及PECVD化学气相沉积工艺所产生的废气。

本产品在结构上主要由不锈钢壳体、燃烧系统、洗涤系统和清渣系统组成。在进气方面采用压缩空气加新风进气口双进风形式，提高产品运行效率和可靠性。在喷淋系统方面，采用循环水泵与自动补水相结合的方法，风机采用一用一备形式，这些工艺特点使得本产品在安全可靠性方面得到极大保证。内部燃烧室采用特殊的泄压装置，即使在内部压力突然增大的情况下仍能正常工作，同时配备了氮气入口，更加大了设备的安全性。在粉尘收集方面采用静压沉积的方法，沉积下来的粉尘通过排渣口排出，这使粉尘收集处理变得更容易、更有效。经权威部门实测，客户单位硅烷(SiH4)去除率≥99.99%，氨气(NHs)以及其它水溶性气体的净化率高达99.99%。